从2025半导体展看PI、PEEK、PPS等特种工程塑料应用
在半导体领域,塑料的应用主要是包装、传送和密封,连接每一个加工制程,防止污染和损坏,优化污染控制,提高关键半导体制程的良率。
特种工程塑料因其独特的物理化学性能,在半导体制造中扮演了关键角色。半导体领域常用的特种工程塑料包括:
特性:耐高温(长期使用温度250℃)、耐磨、低释气、抗静电改性后适用于洁净环境。
应用:CMP固定环、晶圆载具、光罩盒、封装测试插座等。
特性:耐化学腐蚀、尺寸稳定,但耐磨性略逊于PEEK。
应用:CMP固定环、封装测试插座等。
氟塑料(如PFA、PTFE)
特性:耐强酸强碱、低摩擦系数,适用于化学液传输部件。
特性:耐高温(300℃以上)、高强度,用于高温环境下的结构件。
环烯烃聚合物(COP)
特性:高透光性、低吸湿,适用于光罩盒等光学相关部件。
从具体应用场景看,主要有晶圆载具(晶舟、传送盒),CMP固定环,光罩盒,晶圆工具(夹取吸笔、真空吸盘),封装测试插座等。